一、用途
此设备实用与2—4英寸砷化镓脱氧的完善设备，全自动控制系统，手动操作（可进行2-4 英寸GaAs脱氧工艺）。
二、主要技术指标
1、外型形式：单管卧式结构
2、最高设计温度：1000℃
3、使用温度范围：100℃——1000℃
4、恒温区长度：600mm。
6、工艺石英管外径： 2-4寸 。
7、温度控制：育豪研发YH-8500系统（全自动触摸屏控制）
8、恒温区精度：≤±1℃／600mm(工作范围内)
9、单点温度稳定性：≤±1℃／24h
10、温度重复性：≤±1℃／24h
11、斜变能力：最大可控升温速率15℃／min，最大可控降温速率：5℃／min
12、总功率：20KW。
13、保温总功率：低于9KW。
14、Spike外控温热偶：K分度.
15、工作真空度：≤10X10-4Pa
16、密封性能：漏气率≤1X10-7Pa·m3／s
17、真空机组：初级泵采用机械泵，二级泵采用无油分子泵
18、真空阀门：全自动电磁真空蝶阀
19、气路系统气密性：1X10-7 Pa·M3／S
20、报警系统：超温报警、断偶报警、真空故障报警、真空室压力异常报警、
21、控制方式：程序控制温度（整套采用触摸屏控制）
22、电源：二相三线220V。
24、预留一路放气口。
