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青岛育豪微电子设备有限公司
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功能特点: 扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。 ★全中文windows操作界面,可编辑参数,操作方便。 ★可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。 ★工艺曲线的自动运行控制功能。 ★自动运行中可暂停/继续运行功能。 ★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。 ★智能升降温斜率制功能。 ★PID参数自整定功能。 ★系统故障的检测与报警功能。 ★智能悬臂推拉舟控制功能。 ★停电后断点继续运行功能。 ★工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)。 ★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 主要技术指标: ★炉管内径:¢90~¢300(2英寸~8英寸) ★恒温区长度及精度:≤1250mm±0.5(300℃~1290℃) ★控温仪表:进口高精度控温仪 ★气源路数:主管道1~4路 ★气体种类:N2、H2、O2、HCL等 ★气源控制:MFC或浮子流量计 ★推拉舟行程:最大2000mm ★推拉舟速度范围及精度:(20~1000)±2mm/min ★推拉舟方式:简易式、悬臂式、SiC硅桨式 ★冷却方式:水冷+风冷 ★工控机:工控机控制 设备特性: 具有多条工艺曲线,调用方便快捷;运行中,具有停电记忆功能触摸微机界面,操作方便;具有超温保护功能 。
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